用于设备真空环境的颗粒取样装置、分析系统及取样方法.pdfVIP

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2023-07-02 发布于四川
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一种用于设备真空环境的颗粒取样装置、分析系统及取样方法，包括：静电捕集头，所述静电捕集头包括正极板和负极板、电极接线柱、绝缘底座，所述正极板和负极板间隔平行设置，所述绝缘底座与第一磁力杆的传样杆连接，所述电极接线柱一端与对应的正极板和负极板连接，另一端连接在所述绝缘底座上用于与电源连接，第一磁力杆，包括传样杆和驱动所述传样杆直线移动的磁力驱动部。本发明可以完成对极紫外光刻机真空环境中颗粒物的收集，然后将样品从真空环境中转移出来进行分析。从而可以应用扫描电子显微镜、扫描隧道显微镜等高分辨显微技术，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113740108 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202110993286.8 (22)申请日 2021.08.27 (71)申请人清华大学地址 10

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