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本发明涉及锂电池材料领域,尤其涉及一种锂电池正极材料制备装置。为了解决铝箔磁控溅射镀膜的过程中,铝箔表面粗糙的位置,溅射粒子无法将粗糙的铝箔表面填平,导致铝箔表面的镀铝膜薄厚不一,铝箔表面无法被镀铝膜完全平整覆盖的问题。本发明提供了这样一种锂电池正极材料制备装置,包括有安装舱体、支撑脚座和加料系统;安装舱体底部安装有若干个支撑脚座;安装舱体左前部安装有用于加入并存放铝箔原料的加料系统。本发明实现了对铝箔的连续磁控溅射镀膜,在镀膜过程中自动对铝箔的表面粗糙度进行检测,可实现对铝箔传送镀膜速度的调控
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113718224 B
(45)授权公告日 2022.01.18
(21)申请号 202111279722.1 C23C 14/54 (2006.01)
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