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本发明公开了一种本发明所提供的CTLM比接触电阻测量装置，包括电压测试电路、电流测试电路及均压电路；所述均压电路包括外电极公共端及多条外电极引线，所述外电极引线的输入端连接于所述外电极公共端，输出端连接于CTLM待测结构的外电极外边缘；多条所述外电极引线的输出端在所述外电极边缘均匀分布；所述电压测试电路包括两个电压探针，两个所述电压探针分别用于连接所述CTLM待测结构的内电极及外电极；所述电流测试电路包括两个电流探针，两个所述电流探针分别用于连接所述CTLM待测结构的内电极及所述外电极公共端。本
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113740608 A
(43)申请公布日 2021.12.03
(21)申请号 202010469848.4
(22)申请日 2020.05.28
(71)申请人 昆山微电子技术研究院
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