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本发明的机台联动性的监控方法及监控系统中，机台联动性的监控方法包括：选择半导体有生产工艺时间限制的工艺路线中预定线路上的多个机台，并获取各个机台的可利用时间率；基于各个机台的可利用时间率，根据相关系数理论计算任意两个机台之间的相关系数；根据相关系数与预设条件判断相关系数关联的两个机台的可利用时间率是否需要调整，以及是否同步调整剩余的机台的可利用时间率，使得根据各个机台调整后的可利用时间率计算得到的相关系数满足预设条件。如上配置，可以加强预定线路上机台的可利用时间率的联动性、提高各个机台的利用率、
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113723923 A
(43)申请公布日 2021.11.30
(21)申请号 202111006801.5
(22)申请日 2021.08.30
(71)申请人 上海华力微电子有限公司
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