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2023-07-02 发布于四川
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本发明涉及半导体生产领域中高压药液过滤装置，具体地说是一种高压过滤器，过滤器上壳体与过滤器下壳体密封连接，防水锤滤膜背板、滤膜及滤膜背板均容置于过滤器上壳体与过滤器下壳体围成的空间内，滤膜背板通过过滤器下壳体支撑，滤膜位于防水锤滤膜背板与滤膜背板之间，过滤器上壳体压紧在防水锤滤膜背板上，防水锤滤膜背板及滤膜背板上分别开设有多个过水孔；过滤器上壳体上安装有过滤器进口接头，过滤器下壳体上安装有过滤器出口接头，过滤器进口接头及过滤器出口接头分别与过滤器上壳体和过滤器下壳体围成的空间内部相连通。本发明可

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113731172 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202110940509.4 (22)申请日 2021.08.17 (71)申请人沈阳芯源微电子设备股份有限公司

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