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本发明提出一种光掩模盒及于一光掩模盒内固持一光掩模的方法，具有一盒盖及提供于该盒盖的一或多个销组件，该销组件包含：一可动部，配置成能相对于该盒盖的一顶部垂直地移动；及一弹性部，配置成使该可动部介于该弹性部和该盒盖的顶部之间。当该光掩模盒未容置一光掩模时，该盒盖的顶部决定该可动部位于一第一水平，且当该光掩模盒容置该光掩模时，该弹性部配合该可动部使该可动部固持该光掩模而位于一第二水平，该第二水平高于该第一水平。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113741138 A
(43)申请公布日 2021.12.03
(21)申请号 202110124823.5
(22)申请日 2021.01.29
(30)优先权数据
63/024,59
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