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2023-07-02 发布于四川
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本发明提供表面分析装置。本发明提供变换机构，该变换机构能够顺畅地进行使用连杆机构进行的移动方向的变换，能够适用于表面分析装置等。移动机构包括：连杆机构，其包括第1块、第2块以及轴支承于第1块和第2块的连杆构件；滑动机构，其使第1块在第1方向上往复移动；以及抵接构件，其与第2块或连杆构件抵接，引导第2块的第2方向的升降移动。连杆构件以能够绕与第1方向和第2方向正交的第3方向的转动轴线转动的方式轴支承于第1块和第2块。抵接构件在从第3方向观察时具有圆形的截面。当第1块向抵接构件侧移动时，在相对于圆形

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113740563 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202110282045.2 (22)申请日 2021.03.16 (30)优先权数据 2020-0921

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