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2023-07-02 发布于四川
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一种半导体制程管道的清洁方法.pdf

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本发明公开了一种半导体制程管道的清洁方法，涉及半导体制程管道技术领域，包括以下步骤：预先制备清洁涂料，再进行对半导体制程管道进行二次总成钝化，进行保护焊缝区域因打磨处理而导致一次钝化膜被破坏的区域，进行对半导体制程管道被焊缝区域进行浸镍处理，将制备半成品涂抹清洁涂料制得成品。本发明经浸镍处理的半导体制程管道，强度大大提高，而通过半导体制程管道涂抹清洁涂料，提高其耐腐蚀性能，不仅消除潜在质量隐患，满足加工工艺要求且满足生产装配需求的同时，而且使用状况优良，延长半导体制程管道的使用寿命，保证生产装配

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113718248 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202111021987.1 C09D 7/61 (2018.01)

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