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2023-07-02 发布于四川
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使用可在不同温度下移除的材料形成电子装置的方法.pdf

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本申请案涉及使用可在不同温度下移除的材料形成电子装置的方法。一种方法包括形成包括交替的第一材料和第二材料的堆叠前体，所述第一材料与所述第二材料展现不同熔点。移除所述交替的第一材料和第二材料的一部分以形成穿过所述交替的第一材料和第二材料的柱状开口。在所述柱状开口中形成牺牲材料。移除所述第一材料以在所述第二材料之间形成第一空间，所述第一材料经调配以在第一移除温度下呈液相或气相。在所述第一空间中形成传导性材料。移除所述第二材料以在所述传导性材料之间形成第二空间，所述第二材料经调配以在第二移除温度下呈液

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113745230 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202110584951.8 (22)申请日 2021.05.27 (30)优先权数据 16/887,17

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