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2023-07-02 发布于四川
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基板处理方法以及基板处理装置.pdf

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本发明提供一种抑制因混合液中的气泡引起的不良产生的技术。基板处理方法包括保持工序(S1)、混合液供给工序(S5)、以及置换工序(S8)。在保持工序(S1)中，保持基板。在混合液供给工序(S5)中，将含有水的处理液以及异丙醇分别经由第一供给管以及第二供给管向混合管供给，将混合了处理液以及异丙醇的混合液经由混合管从喷嘴向基板喷出。在置换工序(S8)中，在混合液供给工序(S5)之后，供给作为处理液以及异丙醇中任一方的置换液，利用置换液将混合管中的混合液推出且使其从喷嘴喷出，来将混合液置换为置换液。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113745128 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202110590165.9 (22)申请日 2021.05.28 (30)优先权数据

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