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本发明提供了一种校正工件台倾斜误差的方法及光刻装置，校正方法包括，将工件台沿同一方向移动若干次，使得校正标记在基底上产生若干个曝光场的曝光图像；对于每一个曝光场，根据曝光图像的特征和聚焦参数，得到在每个曝光位置的子倾斜误差；根据子倾斜误差和曝光位置，得到倾斜误差与工件台在移动方向的位置之间的对应关系式；并据此校正工件台。本发明提供的一种校正工件台倾斜误差的方法，能够方便地得出工件台运动过程中的倾斜偏差，提高了工件台定位的准确性。而且能够在曝光位没有调焦调平传感器时使用，且通过对准测量得到标记的垂
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113741148 B
(45)授权公告日 2022.06.03
(21)申请号 202010478112.3 (56)对比文件
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