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2023-07-02 发布于四川
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薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示面板.pdf

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本发明公开一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示面板，薄膜晶体管包括衬底、第一金属层、第二金属层以及设置在所述第一金属层与第二金属层之间的半导体层，所述第一金属层形成栅极，所述第二金属层形成有源极和漏极，所述薄膜晶体管还包括第一阻挡层，所述第一阻挡层设置在所述衬底和所述第一金属层之间，或者设置在所述半导体层和所述第二金属层之间，所述第一阻挡层的材料为MoAlTi合金。第一阻挡层提高了栅极、或者源极和漏极的附着力，且在后续湿法蚀刻的步骤中MoAlTi合金易被蚀刻，减少了残留物，提高了薄膜晶体管

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113745341 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202110875866.7 (22)申请日 2021.07.30 (71)申请人惠科

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