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一种换热装置及单晶炉.pdfVIP

一种换热装置及单晶炉.pdf

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    本发明提供了一种换热装置及单晶炉，涉及单晶硅制造技术领域。换热装置包括：内壁和外壁，其中，所述内壁靠近所述换热装置的中心轴线；所述内壁和所述外壁共同形成供冷却介质流动的腔体；所述内壁上设置有带内腔的至少一个凸起结构；所述凸起结构的凸起方向朝向所述中心轴线；所述凸起结构的内腔与所述内壁和所述外壁形成的腔体连通。凸起结构的凸起方向朝向晶棒，凸起结构的内腔与内壁和外壁形成的腔体连通，增大了换热面积，且减小了冷却介质与晶棒之间的水平距离，增加了拉晶过程中的纵向温度梯度，提高了拉晶速度，节省了拉晶时间。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113755941 A (43)申请公布日 2021.12.07 (21)申请号 20201

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