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一种等离子体生成系统(10)包括波导(20)和内壁(40)，所述波导(20)用于将微波能传送通过，所述内壁(40)设置于所述波导内以限定等离子体空腔，其中等离子体(46)利用所述微波能而生成于所述等离子体空腔内。所述等离子体生成系统(10)还包括：适配器(44)，所述适配器(44)具有气体出口(32)，由所述等离子体(46)所处理的废气通过所述气体出口(32)离开所述等离子体空腔；回流换热器(100)，所述回流换热器(100)直接附接至所述适配器(44)并且具有气体通路，所述气体通路与所述适配器
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113767447 A
(43)申请公布日 2021.12.07
(21)申请号 202080032528.0 (87)PCT国际申请的公布数据
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