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本发明公开一种OLED蒸镀基板传送装置及其使用方法，装置包括磁力板和机械臂，磁力板上间隔设置若干磁铁形成磁铁矩阵，磁力板上间隔设有若干通孔，每个通孔活动穿设有磁力吸盘棒；基板铺设在磁力吸盘棒上，并由磁力吸盘棒带动升降以铺设在磁力板的一表面；掩膜板铺设在基板背离磁力板的一面并对齐，磁力板通过磁铁矩阵对基板和掩膜板进行吸附固定；机械臂带动基板铺设在磁力吸盘棒上并在掩膜板和基板对齐后带动磁力板翻转。本发明取消掩模片开孔，采用磁力板开孔及机构翻转方式，提高基板与掩膜板的对位精度，有利于OLED量产顺利进
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113737132 A
(43)申请公布日 2021.12.03
(21)申请号 202111192621.0
(22)申请日 2021.10.13
(71)申请人 华映科技（集团）股份有限公司
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