涡轮分子泵、涡轮分子泵的转子及定子.pdfVIP

涡轮分子泵、涡轮分子泵的转子及定子.pdf

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本发明提供一种涡轮分子泵、涡轮分子泵的转子及定子,其可抑制倒流并谋求排气性能的提升。涡轮分子泵包括:多段的转子翼(40),形成有多个叶片(400),设置在转子轴方向上;以及多段的定子翼,在转子轴方向上相对于多段的转子翼(40)交替地配置,形成有多个叶片;当将m设为所述多段的转子翼的总段数以下的大于1的正的实数,在m为自然数的情况下将K设为并非m的倍数的自然数,在m并非自然数的情况下将K设为自然数时,多段的转子翼(40)包含:翼间角度为α1的转子翼;以及相对于所述翼间角度为α1的转子翼的基准位置,

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113757139 A (43)申请公布日 2021.12.07 (21)申请号 202110259011.1 (22)申请日 2021.03.10 (30)优先权数据

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