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本发明提供边缘位置检测装置和边缘位置检测方法,提高被加工物的边缘的位置的检测精度。对圆盘状的被加工物的边缘的位置进行检测的边缘位置检测装置具有:卡盘工作台,其具有对被加工物进行保持的保持面;激光位移计,其具有照射单元和受光单元,该照射单元包含配置在卡盘工作台上方的光源,以横贯被加工物的边缘的方式照射线状激光束,该受光单元包含沿着线状激光束的照射区域的长度方向以规定的间隔排列并分别接受线状激光束的反射光的多个光电转换元件;移动机构,其使激光位移计和卡盘工作台沿着照射区域的长度方向相对地移动;和计算
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113752399 A
(43)申请公布日 2021.12.07
(21)申请号 202110614095.6 G01B 11/02 (2006.01)
(22)申请日 2
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