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本发明涉及半导体激光器技术领域,特别涉及一种阵列式反射镜自动耦合封装方法,包括如下步骤:反射镜按预设的姿态上料并定位;拾取反射镜并检测拾取定位精度;将反射镜移动至光器件的耦合位置完成耦合,通过检测光器件的光功率确认耦合精度;对反射镜点胶固化;重复上述步骤完成多个反射镜的耦合封装。本发明将反射镜从料盘中拾取后检测确认拾取精度,确保反射镜拾取定位的准确性,再移动至耦合位置完成耦合封装,通过检测光功率的方式确认耦合精度,使光器件上阵列式分布的反射镜能依次耦合封装,提升了耦合封装的效率及质量。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113745966 A
(43)申请公布日 2021.12.03
(21)申请号 202111081121.X
(22)申请日 2021.09.15
(71)申请人 中南大学
地址 41
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