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基板热处理炉.pdfVIP

基板热处理炉.pdf

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    本发明公开一种基板热处理炉。本发明可包括：热处理炉，其前侧具有至少一个炉门，且后侧具有至少一个遮挡器，从而将基板放入腔室里的预置空间或从腔室搬出热处理工序结束的基板；轴承轴心，其沿着所述炉门的两侧水平方向突出；上下移动引导件，其具有以轴结合形式诱导所述轴承轴心的上下移动轨道，并在所述炉门的两侧沿垂直方向设置用以引导所述炉门上下移动；以及炉门操作机构部，其具有与所述炉门的侧面结合的可动汽缸，从而使所述炉门沿所述上下移动轨道上下移动地开关。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113764304 A (43)申请公布日 2021.12.07 (21)申请号 202010655388.4 (22)申请日 2020.07.09 (30)优先权数据 10-2020-0

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