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本发明揭示了一种偏振无关型可调光衰减器，所述可调光衰减器包括：第一二维光栅耦合器及第二二维光栅耦合器、若干第一模斑转换器及若干第二模斑转换器、若干第一硅基单模光波导及若干第二硅基单模光波导、PIN电学结构。本发明的可调光衰减器使用平面光波导，具有速度快、体积小、成本低、易于集成等优点；采用二维光栅耦合器，具有偏振无关性，无论输入的是何种偏振光，都可以进行传递。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113759460 A
(43)申请公布日 2021.12.07
(21)申请号 202111075019.9
(22)申请日 2021.09.14
(71)申请人 苏州微光电子融合技术研究院有限
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