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本发明公开了一种蓝宝石化学机械抛光液及其应用,所述抛光液由按重量百分比计的下列组分构成:硅溶胶10~50%、pH调节剂1%~10%、表面活性剂0.1%~3%、含锰络合物0.1%~5%、其余部分为去离子水,所述抛光液的pH值范围为8~12。该抛光液组合物通过添加含锰络合剂,具有抛光速率快、表面质量好、易于清洗和存放稳定性好等特点。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113755099 B
(45)授权公告日 2022.07.12
(21)申请号 202010460641.0 CN 101781525 A,2010.07.21
(22)申请日
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