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一种基于低温等离子体表面改性的非球面反射镜镀膜方法，属于镀膜加工技术领域，为了解决现有镀膜工艺PMMA衬底容易吸潮，导致膜层脱落的问题，该方法包括以下步骤：支持系统保证与控制电脑连接，控制电脑首先控制真空系统为镀膜提供真空环境，控制电脑再控制主要电脑，主要电脑通过控制高压电源来使电子枪发射电子束，通过改变高压电源的电压来改变电子束的速度，主要电脑控制电子束控制单元，电子束控制单元通过改变极板之间的电压来控制电子束的运动方向，电子枪位于高真空室内由其产生电子束，并通过入射窗进入低真空室；电子束电离
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113752534 A
(43)申请公布日 2021.12.07
(21)申请号 202110815221.4 B29L 11/00 (2006.01)
(22)申请日 2
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