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一种可调光学滤波器件,器件包括设置有第一反射结构的第一衬底(104,201)和设置有第二反射结构的第二衬底(108,207),第一衬底(l04,201)和第二衬底(108,207)具有反射结构的表面外围通过键合物(106,205)相互键合以在反射结构之间形成腔体,且腔体内第一衬底(104,201)和/或第二衬底(108,207)具有反射结构的表面分布有不同厚度的光学材料块(109,209)。一种光谱成像系统,包括可调光学滤波器件,还包括成像芯片(402),可调光学滤波器件成像芯片(402)相互键
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113767309 A
(43)申请公布日 2021.12.07
(21)申请号 202080022971.X (51)Int.Cl.
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