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本申请提供一种MEMS谐振器闭环控制方法及控制结构，其中，MEMS谐振器闭环控制结构包括了控制振幅的AGC环路8和控制相位的PLL环路13。其中PLL环路13包括了鉴相器9、环路滤波器10、压控振荡器11和1/2分频器12。驱动/检测方法是通过将PLL环路13的压控振荡器11的输出信号经过1/2分频器12进行分频处理，输出两路正交的1f信号，经过驱动电极全差分设计，能够在MEMS谐振器上施加频率为2f的驱动静电力，并使得MEMS谐振器工作在2f谐振状态，实现了倍频驱动。这样就将驱动信号的频率1f
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113765516 A
(43)申请公布日 2021.12.07
(21)申请号 202111065482.5
(22)申请日 2021.09.10
(71)申请人 中国航空工业集团公司西安飞行自
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