制造固化膜的方法及其使用.pdfVIP

制造固化膜的方法及其使用.pdf

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本发明提供一种高膜密度、高膜硬度、高耐蚀刻性的固化膜的制造方法。一种制造固化膜的方法，包括(1)在基板的上方应用组合物(i)；(2)由组合物(i)形成含烃膜；以及(3)对含烃膜照射等离子体、电子束和/或离子，形成固化膜。该固化膜的使用。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113767334 A (43)申请公布日 2021.12.07 (21)申请号 202080031246.9 (74)专利代理机构北京三幸商标专利事务所

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