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用于对样品表面进行检查的正入射相移偏转测量传感器、系统和方法.pdfVIP

用于对样品表面进行检查的正入射相移偏转测量传感器、系统和方法.pdf

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    一种用于对样品的表面进行检查的系统，该系统包括正入射相移偏转测量（PSD）传感器，该传感器包括成像传感器、分束器以及被布置在成像传感器与分束器之间的成像光学器件。光照源采用光图案照射样品并且被布置成垂直于样品的表面。成像传感器在传感器图像中撷取从样品表面反射的光图案。分束器将来自光照源的光的第一部分引导到光吸收器，将来自光照源的光的第二部分引导到样品的表面，并且将从样品的表面反射的光图案引导到成像传感器。一种与该正入射PSD传感器通信的数据处理设备基于传感器图像来确定样品表面的特性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113767277 A (43)申请公布日 2021.12.07 (21)申请号 202080031497.7 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公

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