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本发明公开了一种真空抽气系统,包括罗茨真空泵、滑阀真空泵和变频器,所述罗茨真空泵具有进气口和出气口,所述滑阀真空泵借助第一真空管与所述罗茨真空泵的出气口连通,所述变频器与所述罗茨真空泵相连接,所述变频器用于控制所述罗茨真空泵中电机的转速由低转速向高转速转变且呈阶段性速率增加。通过变频器来控制罗茨真空泵中电机的转速,以给滑阀真空泵缓冲时间达到其预设压强,避免不稳定及负压过大的影响,且该真空抽气系统能增加抽速,缩短抽气时间,提高抽真空的速率及稳定性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113738616 A
(43)申请公布日 2021.12.03
(21)申请号 202111148762.2
(22)申请日 2021.09.28
(71)申请人 东莞鑫泰玻璃科技有限公司
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