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本发明的目的是提供一种高精度的测定方法，其在使用质谱仪测定含卤素氟化物气体所含的氟气体浓度时，减少了因气体流路上的金属构件和杂质与氟气发生反应而被消耗所引起的氟气浓度的测定误差。本发明包含一种氟气浓度的测定方法，是使用具有含卤素氟化物气体供给源(16)、含氟气体供给源(14)、配管(24)、毛细管(28)和质谱仪(30)的分析装置(10)来测定含卤素氟化物气体所含的氟气(F2)的浓度的方法，其特征在于，在测定所述氟气浓度之前，利用包含从所述含氟气体供给源供给的含氟气体的钝化用气体，对所述配管和所
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113767281 A
(43)申请公布日 2021.12.07
(21)申请号 202080032719.7 (74)专利代理机构 北京市中咨律师事务所
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