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打线接合装置具备瓷嘴、使瓷嘴移动的移动机构、及控制移动机构的驱动的控制部,控制部至少执行:第一处理(轨迹a),在形成有FAB后使瓷嘴向第一接合点下降至压接高度,由此在第一接合点形成压接球及圆柱部;第二处理(轨迹b),在执行第一处理后使瓷嘴在压接高度水平移动,由此以瓷嘴将圆柱部削去;及第三处理(轨迹c~k),在执行第二处理后使瓷嘴向前进方向移动,且在所述移动的中途反复执行一次以上的压扁动作,所述压扁动作为了以瓷嘴将重叠于压接球上的导线部分压扁而使瓷嘴暂且下降。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113785386 A
(43)申请公布日 2021.12.10
(21)申请号 201980096062.8 (51)Int.Cl.
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