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本申请实施例提供一种激光器的能量补偿方法及装置。在本申请实施例中，获取激光器的放电腔的能量信息；根据所述能量信息以及目标能量信息，确定能量偏差，并提取所述能量偏差中的干扰频率；对所述能量偏差以及所述干扰频率进行自动控制，并根据控制后的对应控制结果，确定所述放电腔的补偿电压，以使对所述放电腔的放电电压进行补偿。通过对能量偏差以及干扰频率的控制，调整激光器的输出能量，可以在一定程度上减少由放电腔振动引起的激光器能量波动，以保证激光器输出较为稳定的能量。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113783100 B
(45)授权公告日 2023.04.11
(21)申请号 202110600173.7 H01S 3/134 (2006.01)
(22)申请日 2021.05
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