组合式波纹状压电麦克风和波纹状压电振动传感器.pdfVIP

组合式波纹状压电麦克风和波纹状压电振动传感器.pdf

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本公开的各实施例涉及组合式波纹状压电麦克风和波纹状压电振动传感器。组合式微机电结构(MEMS)包括具有一个或多个第一电极的第一压电膜，第一压电膜被固定在第一保持件与第二保持件之间；以及具有惯性质量和一个或多个第二电极的第二压电膜，第二压电膜被固定在第二保持件与第三保持件之间。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113776646 A (43)申请公布日 2021.12.10 (21)申请号 202110636907.7 H04R 17/02 (2006.01) (22)申请日 2

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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