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本发明属于光学测量相关技术领域,并公开了一种角分辨快照椭偏仪及其测量系统与方法。该椭偏仪包括照明光路单元和光谱采集单元,照明光路单元中设置有第一透镜和物镜,光线经过第一透镜汇聚在物镜的后焦面上,在物镜的作用下形成多束不同入射角的光束照射在待测样品表面;光谱采集模块包括多象限分析器、第二透镜和成像光谱仪,入射光线照射在待测样品表面后被待测样品反射,然后依次经过物镜、多象限分析器和第二透镜,最终在成像光谱仪中获得角分辨光谱,利用该角分辨光谱计算获得到达成像光谱仪反射光的偏振参数,进而获得待测样品的厚
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113777049 A
(43)申请公布日 2021.12.10
(21)申请号 202110920408.0
(22)申请日 2021.08.11
(71)申请人 华中科技大学
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