一种基于外差干涉的气室温度控制系统.pdfVIP

一种基于外差干涉的气室温度控制系统.pdf

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一种基于外差干涉的气室温度控制系统，通过使一束单色光在包含气室的光学系统中形成经过所述气室的第一合束光和不经过气室的第二合束光，以便利用第一合束光与第二合束光之间的光程差或相位差实现对气室温度的测量，从而以基于纯光场进行测温的方式减少单点测温带来的温度梯度，提高气室温度测量精度。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113776686 B (45)授权公告日 2022.08.12 (21)申请号 202110911201.7 审查员董立静 (22)申请日 2021.08.09

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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