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本发明公开了一种抗砂尘的高硬度多光谱氮化铝膜系的制备方法,包括以下步骤:1)光学元件清洗;2)将清洗好的光学元件作为基底,在其上镀制光学过渡匹配层,该光学过渡匹配层包括多层膜系结构,在700nm~1000nm、1064nm及3.7μm~4.8μm波段均具有高光学透过率;3)在光学过渡匹配层上制备高硬度、多光谱氮化铝薄膜。本发明有效提升了其光学透过率,且提升了抗砂尘侵蚀性能。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113774325 A
(43)申请公布日 2021.12.10
(21)申请号 202110941846.5 C23C 14/35 (2006.01)
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