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具有高散热性能的SOI晶圆及其制备方法.pdfVIP

具有高散热性能的SOI晶圆及其制备方法.pdf

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    本发明提供一种具有高散热性能的SOI晶圆及其制备方法，SOI晶圆依次包括：体硅晶圆、埋氧层及硅器件层；体硅晶圆靠近埋氧层的一侧形成有预设深度的沟槽，沟槽中填充有高热导率材料，高热导率材料采用散热胶固定，高热导率材料为碳纳米管或二硫化钼。通过在体硅晶圆中设置沟槽，并在沟槽中填充材料为碳纳米管或二硫化钼的高热导率材料，基于碳纳米管及二硫化钼具有高的热导率，可有效提高SOI电路的散热性能，使SOI晶圆的尺寸做的更大；另外高热导率材料设置于体硅晶圆中，不影响硅器件层的面积，提高有源区利用率，降低成本，提

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113764366 B (45)授权公告日 2022.02.11 (21)申请号 202111303138.5 (51)Int.Cl.

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