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一种多晶硅生产尾气回收方法.pdfVIP

一种多晶硅生产尾气回收方法.pdf

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    本发明涉及一种多晶硅生产尾气回收方法，包括冷却步骤：向筒体内具有双层管道的换热管中通入低温液体，液体从靠近换热管外壁的管道向换热管轴线处的管道流动，使所述筒体内与所述换热管接触的活性炭处于低温状态；提纯步骤：向所述筒体内通入氢气尾气，使氢气尾气通过所述活性炭，提纯后的氢气从所述筒体内排出；加热步骤：向所述换热管中通入高温液体；活性炭再生步骤：向所述筒体内通入氢气尾气，氢气尾气通过所述活性炭，氢气尾气携带着杂质组分从所述筒体内排出。通过上述步骤，使活性炭能重复利用，不仅降低了运行成本，同时使得采用

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113788456 A (43)申请公布日 2021.12.14 (21)申请号 202111153856.9 (22)申请日 2021.09.29 (71)申请人 四川久源机械制造有限公司

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