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一种用于保护掩模版的缓冲器装置包括基础结构、第一细长元件和第二细长元件、接触件和恢复元件。第一细长元件和第二细长元件每个包括远端和近端。第一元件和第二元件的近端附接到基础结构。接触件设置在第一细长元件和第二细长元件的远端的端部处。第一细长元件和第二细长元件响应于由掩模版引起的接触力而变形。恢复元件附接到第一细长元件和第二细长元件。恢复元件生成抵抗第一细长元件和第二细长元件的变形的恢复力。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113811819 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202080034260.4 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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