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晶圆存取总成及其晶圆存取装置与晶圆载具.pdf

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    本申请实施例提供一种晶圆存取总成及其晶圆存取装置与晶圆载具，晶圆存取装置具有底座可平移或旋转、滑动轴、两个或两个以上连动板、两个或两个以上手臂、以及至少两个定位侧壁，底座具有长槽，滑动轴可沿长槽平移滑动，各连动板皆套设于滑动轴，每一个手臂由连动板一端延伸而出，两个定位侧壁分别设于底座两侧，每一个定位侧壁具有两个或两个以上轨道供连动板的凸柱伸入，各轨道宽度由定位侧壁的前端朝后端渐小。晶圆存取总成具有晶圆存取装置及晶圆载具。借此，晶圆载具的体积可缩减一半，且晶圆存取装置可同时真空吸附两个或两个以上晶

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113808977 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202110437448.X (22)申请日 2021.04.22 (30)优先权数据 109120229

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