- 1、本文档共20页,其中可免费阅读19页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明实施例涉及半导体制造系统、行为辨识装置及半导体的制造方法。根据本发明的一些实施例,一种用于辨识半导体制造设备的行为的行为辨识装置包含存储装置及控制单元。所述存储装置经配置以存储所述半导体制造设备的日志数据。所述控制单元协同连接到所述存储装置,且经配置以基于所述日志数据建立转移状态模型以分析与所述半导体制造设备的晶片传送序列及制造操作有关的行为。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113805540 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202110702072.0
(22)申请日 2021.06.24
(30)优先权数据
16/996,83
您可能关注的文档
- 洗衣机.pdf
- 衣物处理装置.pdf
- 使超速的发动机停止的方法、相关联的系统和旋翼飞行器.pdf
- 一种铁皮石斛多糖的提取纯化方法.pdf
- 一种用于沟槽密封的浮动行走机构.pdf
- 土壤在位检测装置及方法.pdf
- 半导体装置和其形成方法.pdf
- 一种光子晶体微腔-石墨烯电光调制器.pdf
- 像素电路.pdf
- 进入辅助系统、进入辅助方法和记录介质.pdf
- 中国国家标准 GB/T 18233.4-2024信息技术 用户建筑群通用布缆 第4部分:住宅.pdf
- GB/T 18233.4-2024信息技术 用户建筑群通用布缆 第4部分:住宅.pdf
- GB/T 18978.210-2024人-系统交互工效学 第210部分:以人为中心的交互系统设计.pdf
- 《GB/T 18978.210-2024人-系统交互工效学 第210部分:以人为中心的交互系统设计》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 18978.210-2024人-系统交互工效学 第210部分:以人为中心的交互系统设计.pdf
- GB/T 16649.2-2024识别卡 集成电路卡 第2部分:带触点的卡 触点的尺寸和位置.pdf
- 《GB/T 16649.2-2024识别卡 集成电路卡 第2部分:带触点的卡 触点的尺寸和位置》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 16649.2-2024识别卡 集成电路卡 第2部分:带触点的卡 触点的尺寸和位置.pdf
- GB/T 17889.4-2024梯子 第4部分:铰链梯.pdf
- 《GB/T 17889.4-2024梯子 第4部分:铰链梯》.pdf
文档评论(0)