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2023-07-05 发布于四川
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一种在陶瓷介质基板表面金属化的方法及陶瓷介质基板.pdf

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本发明提供一种在陶瓷介质基板表面金属化的方法及陶瓷介质基板，方法包括如下步骤：A、依次对原始陶瓷介质基板本体进行研磨和/或抛光；B、对经步骤A后的陶瓷介质基板本体进行预处理；C、对烧结后的陶瓷介质基板本体依次利用丙酮溶液、酒精、微酸性清洗液和去离子水进行超声波清洗，以去除陶瓷介质基板本体表面的油污和灰尘；D、利用磁控溅射工艺使金属沉积在陶瓷介质基板本体表面，形成金属膜层，得到最终的陶瓷介质基板。本发明能够显著提高金属膜层的强度，杜绝金属化膜层起皮、剥落的情况，从而有效提高产品的合格率，且操作简单

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113788709 A (43)申请公布日 2021.12.14 (21)申请号 202111012002.9 (22)申请日 2021.08.31 (71)申请人福建

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