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2023-07-05 发布于四川
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一种大面积多特征射线表面分析装置.pdf

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本发明公开了一种大面积多特征射线表面分析装置，包括多特征测量结构、三维移动平台、激光光源、光谱仪以及控制系统，所述多特征测量结构安装于三维移动平台上，激光光源和光谱仪安装于三维移动平台底部，控制系统连接并控制多特征测量结构、三维移动平台、激光光源以及光谱仪。本发明可针对同一样品点进行点分析，同时获得元素成分、结晶相、分子结构以及形貌特征信息，又能针对指定区域进行分布扫描分析，同时获得该区域元素分布、结晶相分布、分子结构分布成像以及形貌特征信息，具有高效快速，结构紧凑，功能强大，可分析样品范围广，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113791098 A (43)申请公布日 2021.12.14 (21)申请号 202111354956.8 (22)申请日 2021.11.16 (71)申请人四川大学地址 61

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