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本发明涉及一种三级火焰VAD工艺沉积喷灯,包括有喷灯体,喷灯体沿周向设置中心供料孔和围绕中心供料孔的多层环形气孔,其特征在于所述的多层环形气孔均为火焰环形气孔,且从内向外依次包括内层火焰环形气孔、中层火焰环形气孔和外层火焰环形气孔,所述喷灯体的喷口端面由内向外呈三级轴向递增内凹状,其中内层火焰环形气孔喷口位于喷口端面的最内面,与中心供料孔喷口齐平,中层火焰环形气孔喷口位于喷口端面的次内面,外层火焰环形气孔喷口位于喷口端面的最外面,所述的火焰环形气孔包括有氧气环形气孔和氢气环形气孔。本发明不仅结构
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113788611 A
(43)申请公布日 2021.12.14
(21)申请号 202111086955.X
(22)申请日 2021.09.16
(71)申请人 长飞光纤潜江有限公司
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