一种紧凑型超高温加热台及高温加热设备.pdfVIP

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2023-07-05 发布于四川
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一种紧凑型超高温加热台及高温加热设备.pdf

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本发明公开了一种紧凑型超高温加热台及设备，该超高温加热台包括安装法兰、两根支撑杆和样品台，每根支撑杆的一端连接样品台，另一端固定在安装法兰上；样品台内置加热源，以对样品台上的样品加热；每根支撑杆的内部中空而形成冷却液通道，样品台内开设有同时连通两个冷却液通道的空腔，两根支撑杆的伸出安装法兰的端部分别为冷却液的进口和出口。本发明的支撑杆兼做水冷管，利用其将样品台固定在安装法兰上的同时，还提供冷却液的传输通道，使得超高温的样品台可以安装在尺寸更小的法兰基座上，有利于提高结构的紧凑性。与此同时，本发明

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113802187 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202110990364.9 (22)申请日 2021.08.26 (71)申请人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿

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