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本发明涉及一种光子晶体微腔‑石墨烯电光调制器及其制备方法，其特征包括硅基光子晶体微腔、石墨烯层以及中间绝缘层构成的平行板电容器。通过在该电光调制器第一和第二电极层上施加不同电压信号，可以对石墨烯层载流子浓度进行调节，从而调节石墨烯层费米能级，实现石墨烯层上电介质常数的实部和虚部的电调制；进一步，借助电调制的石墨烯层与硅基光子晶体微腔的共振模场相耦合，可实现硅基光子晶体微腔共振信号的高性能电调制。有益效果包括：结构紧凑，具备高调制深度、超快频率响应、低能耗等显著特征，制备过程所需工艺简单，可集成于
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113805364 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202110462893.1
(22)申请日 2021.04.22
(71)申请人 西北工业大学
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