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本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种视觉检测装置，其包括工作平台、控制系统、储料机构以及设于工作平台上的移动机构、承载机构、夹取机构和视觉检测机构，针对不同尺寸规格的晶圆和料条选择对应的导向组件和承载台并将其安装于支承组件上，从而使得承载机构可适配支承不同尺寸的晶圆和料条，满足多样化的检测需求；其次，支承组件的导向槽起到了辅助支撑、导向和限位的作用，使得待测件在夹取机构移动待测件至承载台的过程中以及承载台随支承组件移动的过程中均较为稳固地置于承载台上，防止待测件滑移甚至滑脱，提高了检测的精准
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113804701 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202110992087.5
(22)申请日 2021.08.26
(71)申请人 深圳格芯集成电路装备有限公司
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