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本发明公开了一种基于迭代K‑means算法的微结构台阶高精度表征方法，其步骤包括：首先，将通过白光干涉获得的台阶高度测量数据进行维度重构，将复杂的多维面型数据降维至二维空间；基于K‑means聚类算法和数据映射，识别与去除离群值的同时将二维数据点集中的质心距离映射为所求台阶高度值；最后，通过迭代收敛设计，进一步提高算法表征结果的准确度和鲁棒性，完成台阶高度参数表征。将聚类分析算法应用到台阶高度计量领域，利用基于K‑means算法的质心距离计算及数据映射，提高了台阶高度表征效率的同时对表面实测数据
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113808189 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202110994406.6
(22)申请日 2021.08.27
(71)申请人 上海大学
地址 20
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