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本发明公开一种多通道微环传感器及其制备和使用方法,包括传感衬底、波导微环、涂层裸露传感区域和光纤阵列,所述波导微环采用标准流片工艺制作于传感衬底上,所述波导微环包括一个输入波导、两个输出波导和一个微环;本发明将传统需要微流通道才能达到的多参数检测目的,改善为使用paryleneC薄膜疏水作用和微点样仪结合,使特异性蛋白一步法固定在微环表面,简化了芯片制备和修饰流程,且传统使用微流通道,芯片尺寸不能太小,而本发明不依赖于微流通道的方法有利于缩小芯片尺寸,达到更高的集成度,同时利用parylene
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113791073 A
(43)申请公布日 2021.12.14
(21)申请号 202111084812.5
(22)申请日 2021.09.16
(71)申请人 苏州集微光电有限公司
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