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本发明属于气体处理设备技术领域,具体的说是一种三维高密度低温等离子发生装置,包括铜棒;所述铜棒端部固接有石英玻璃部件一;所述石英玻璃部件一上由内到外依次套设有石英玻璃部件二、石英玻璃部件三、石英玻璃部件四、石英玻璃部件五、和石英玻璃部件六;所述石英玻璃部件六的端部固接有石英玻璃部件七;所述石英玻璃部件七与石英玻璃部件五、石英玻璃部件四、石英玻璃部件三、石英玻璃部件二和石英玻璃部件一固接;所述石英玻璃部件三的端部固接有导电层一;通过运用多层、桶形环状阻隔放电形式,形成多个三维放电隧道空间,大幅度增
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113786716 A
(43)申请公布日 2021.12.14
(21)申请号 202111105530.9
(22)申请日 2021.09.22
(71)申请人 苏州杰宸环境科技有限公司
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