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一种真空夹持装置，其用于夹紧工件，特别地用于夹紧诸如晶圆等平面基材，包括具有吸附表面的底板，其中在底板的吸附表面中设计有多个吸附开口，其中底板可通过至少一个抽吸管道，与至少一个负压装置相连，其特征在于，吸附开口被布置在底板的吸附表面的边沿区域中。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113826190 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202080035033.3 (74)专利代理机构成都超凡明远知识产权代理

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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