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一种单晶金刚石低指数晶面的抛光方法,本发明涉及单晶金刚石低指数晶面的抛光领域。本发明要解决现有单一抛光工艺只对单一晶面进行抛光的技术问题。方法:采用“三步法”抛光工艺,综合了各种抛光技术的优点。解决了现有单一抛光工艺且只能对单一晶面进行抛光的缺点,提高了单晶金刚石的抛光效率及精度,同时也降低了对环境的污染。本发明用于单晶金刚石低指数晶面的抛光。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113814799 A
(43)申请公布日 2021.12.21
(21)申请号 202111066367.X C09G 1/02 (2006.01)
(22)申请日 20
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